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石英深加工:石英坩埚的要求十分苛刻

发布日期:2015-04-23 14:25 来源:http://www.rivermb.com 点击:

     石英坩埚先开启循环水,看各冷却水管冷却水是否正常,每台主机设备的循环水压力在0.2MPa左右,水压不能过低或过高,水压过低循环水的水量不够,实验室净化设备冷却不好,温度过高可能烧损设备;石英深加工 

1.使用90微米钢线切割硅片开创了线切领域的先河,每年可多创造利润近千万元;在业内率先实现了100微米钢线切割多晶片技术;自产涂层石英坩埚使拉晶成品率提高了。 

2.石英坩埚是拉制单晶硅的消耗性器皿,每生产一炉单晶硅就用掉一只石英坩埚,因为单晶硅是生产大规模集成电路和太阳能电池的主要原料,所以对石英坩埚的要求十分苛刻,按照使用范围不同,石英坩埚可分为:太阳能级硅单晶坩埚和集成电路级硅单坩埚。 

3。水压过高使主机设备的冷却部位的水压太大,会使冷却部位爆开漏水;循环开启十五分钟后,方可进行下一操作;(门板冷却水不要大,有水流既可,方水板,电极板,铜电极,立板冷却水开一半既可,水冷套,真空泵和遮热板水量要大)。


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